Машина за регулиране на устойчивостта на тънък филм – J3335D
Описание и въведение
Многофункционалната машина за лазерно изрязване от серията TS3335D-I е подходяща за настройка на различни тънкослойни вериги, като инерционни жироскопи, високопрецизни резистори, аналогови интегрални схеми и прецизно лазерно изрязване на тънкослойни сензори.
Серията TS3335D-II машина за лазерно подрязване на пластини е подходяща за подрязване на полупроводникови пластини и различни високопрецизни MEMS устройства.
Продуктови снимки
Характеристики на оборудването
1:Използва ултравиолетов лазер с пиков импулс с дължина на вълната 355 nm за подстригване.
2:Непрекъсната и контролируема лазерна мощност с висока стабилност.
3:Постига прецизен контрол на позицията чрез технология за автоматично позициониране на видео изображение.
4:Богата дефиниция на траекториите на подстригване и рязане.
5:Може да комуникира автоматично с външни устройства чрез различни комуникационни интерфейси като мрежа,
GPIB и сериен порт за автоматично подрязване.
6:Използва високопрецизна XY работна маса за поетапно повтарящо се автоматично подрязване на множество детайли.
7:Вградено интегрирано измерване и контрол или външна разширяема измервателна система.
8:Интерфейси с различни платформи за автоматизация чрез богат набор от 10 интерфейса.
Спецификации
| Конфигурации | ||
| Модел | TS3335D - I | TS3335D - II |
| Лазерна дължина на вълната | 355 nm | 355 nm |
| Номинална мощност на лазера | > 2 W | > 1 W |
| Диаметър на лъча | 10 - 15 μm | 4 - 5 μm |
| Скорост на сканиране | 0 - 6000 mm/s, плавно регулиране | 0 - 6000 mm/s, плавно регулиране |
| XY Table Travel | 200*300 мм | 200*300 мм |
| Точност на повторение на позиционирането на XY таблица | ± 1 μm | ± 1 μm |
