Tynd film modstandsjusteringsmaskine – J3335D
Beskrivelse og introduktion
TS3335D-I-seriens multifunktionelle lasertrimningsmaskine er velegnet til tuning af forskellige tyndfilmskredsløb, såsom inertialgyroskoper, højpræcisionsmodstande, analoge IC'er og præcisionslasertrimning af tyndfilmssensorer.
TS3335D-II-serien lasertrimningsmaskine på waferniveau er velegnet til trimning af halvlederwafere og forskellige højpræcisions MEMS-enheder.
Produktbilleder
Udstyrsfunktioner
1:Anvender peak puls ultraviolet laser med en bølgelængde på 355nm til trimning.
2:Kontinuerlig og kontrollerbar højstabil laserkraft.
3:Opnår præcis positionskontrol gennem videobillede automatisk positioneringsteknologi.
4:Rig definition af trimnings- og skærebaner.
5:Kan kommunikere med eksterne enheder automatisk gennem forskellige kommunikationsgrænseflader såsom netværk,
GPIB og seriel port til automatisk trimning.
6:Anvender XY-arbejdsbord med høj præcision til trinvis gentagne automatisk trimning af flere emner.
7:Indbygget integreret måling og kontrol eller eksternt udvideligt målesystem.
8:Grænseflader med forskellige automatiseringsplatforme gennem et rigt sæt af 10 grænseflader.
specifikationer
| Konfigurationer | ||
| Model | TS3335D - I | TS3335D - II |
| Laser bølgelængde | 355 nm | 355 nm |
| Nominel lasereffekt | > 2 W | > 1 W |
| Bjælkediameter | 10 - 15 μm | 4 - 5 μm |
| Scanningshastighed | 0 - 6000 mm/s, trinløst justerbar | 0 - 6000 mm/s, trinløst justerbar |
| XY Bordrejse | 200*300 mm | 200*300 mm |
| XY tabel Gentag positioneringsnøjagtighed | ± 1 μm | ± 1 μm |
