Maschine zur Einstellung des Dünnschichtwiderstands – J3335D
Beschreibung und Einführung
Die multifunktionale Lasertrimmmaschine der TS3335D-I-Serie eignet sich für die Abstimmung verschiedener Dünnschichtschaltungen, wie z. B. Trägheitsgyroskope, hochpräzise Widerstände, analoge ICs und präzises Lasertrimmen von Dünnschichtsensoren.
Die Wafer-Level-Lasertrimmmaschine der TS3335D-II-Serie eignet sich zum Trimmen von Halbleiterwafern und verschiedenen hochpräzisen MEMS-Geräten.
Produktbilder
Ausstattungsmerkmale
1:Verwendet zum Trimmen einen Spitzenpuls-Ultraviolettlaser mit einer Wellenlänge von 355 nm.
2:Kontinuierliche und steuerbare, hochstabile Laserleistung.
3:Ermöglicht eine präzise Positionskontrolle durch automatische Videobild-Positionierungstechnologie.
4:Umfangreiche Definition von Trimm- und Schnittbahnen.
5:Kann über verschiedene Kommunikationsschnittstellen wie Netzwerk,
GPIB und serielle Schnittstelle für automatisches Trimmen.
6:Nutzt einen hochpräzisen XY-Arbeitstisch zum schrittweisen, wiederholten automatischen Beschneiden mehrerer Werkstücke.
7:Onboard integrierte Messung und Steuerung oder extern erweiterbares Messsystem.
8:Schnittstellen zu verschiedenen Automatisierungsplattformen über einen umfangreichen Satz von 10 Schnittstellen.
Spezifikationen
| Konfigurationen | ||
| Modell | TS3335D - I | TS3335D - II |
| Laserwellenlänge | 355 nm | 355 nm |
| Nominale Laserleistung | > 2 W | > 1 W |
| Strahldurchmesser | 10 - 15 µm | 4 - 5 µm |
| Scangeschwindigkeit | 0 - 6000 mm/s, stufenlos einstellbar | 0 - 6000 mm/s, stufenlos einstellbar |
| XY-Tischfahrt | 200*300 mm | 200*300 mm |
| Wiederholgenauigkeit der XY-Tischpositionierung | ± 1 μm | ± 1 μm |
