Þunn filmuþolsstillingarvél – J3335D
Lýsing og kynning
TS3335D-I röð fjölnota leysisnyrtingavélin er hentug til að stilla ýmsar þunnfilmuhringrásir, svo sem tregðugírósópa, hárnákvæmni viðnám, hliðræna IC og nákvæma leysisnyrtingu þunnfilmuskynjara.
TS3335D-II röð leysisnyrtivél á oblátastigi er hentugur til að klippa hálfleiðara oblátur og ýmis MEMS tæki með mikilli nákvæmni.
Vörumyndir
Eiginleikar búnaðar
1:Notar hámarkspúls útfjólubláan leysir með bylgjulengd 355nm til að klippa.
2:Stöðugt og stjórnanlegt hástöðugleika leysirafl.
3:Ná nákvæmri stöðustýringu með sjálfvirkri staðsetningartækni fyrir myndbandsmyndir.
4:Rík skilgreining á klippingu og skurðferlum.
5:Getur átt samskipti við utanaðkomandi tæki sjálfkrafa í gegnum ýmis samskiptaviðmót eins og netkerfi,
GPIB og raðtengi fyrir sjálfvirka klippingu.
6:Notar XY vinnuborð með mikilli nákvæmni fyrir sjálfvirka klippingu í skrefum á mörgum vinnuhlutum.
7:Innbyggt mælingar og eftirlit eða ytra stækkanlegt mælikerfi.
8:Tengi við ýmsa sjálfvirknikerfi í gegnum mikið sett af 10 viðmótum.
Tæknilýsing
| Stillingar | ||
| Fyrirmynd | TS3335D - I | TS3335D - II |
| Laser bylgjulengd | 355 nm | 355 nm |
| Nafnleysisstyrkur | > 2 W | > 1 W |
| Þvermál geisla | 10 - 15 μm | 4 - 5 μm |
| Skannahraði | 0 - 6000 mm/s, stillanlegt stöðugt | 0 - 6000 mm/s, stillanlegt stöðugt |
| XY Table Travel | 200*300 mm | 200*300 mm |
| XY töflu endurtekið staðsetningarnákvæmni | ± 1 μm | ± 1 μm |
