薄膜抵抗調整機 – J3335D
説明と紹介
TS3335D-Iシリーズは、慣性ジャイロスコープ、高精度抵抗器、アナログICなどの各種薄膜回路のチューニングや薄膜センサーの精密レーザートリミングに適した多機能レーザートリミングマシンです。
TS3335D-IIシリーズは、半導体ウエハや各種高精度MEMSデバイスのトリミングに適したウエハレベルレーザトリミング装置です。
製品写真
設備の特徴
1:トリミングには波長355nmのピークパルス紫外線レーザーを採用。
2:連続的かつ制御可能な高安定レーザー出力。
3:映像自動位置決め技術により正確な位置制御を実現。
4:トリミングおよびカット軌道の豊富な定義。
5:ネットワークなどのさまざまな通信インターフェースを介して外部機器と自動的に通信でき、
GPIB、および自動トリミング用のシリアルポート。
6:高精度XYワークテーブルを採用し、複数のワークを段階的に繰り返し自動トリミングします。
7:オンボードの統合された測定および制御、または外部の拡張可能な測定システム。
8:10 種類の豊富なインターフェイスを通じて、さまざまな自動化プラットフォームとインターフェイスします。
仕様
| 構成 | ||
| モデル | TS3335D - I | TS3335D-Ⅱ |
| レーザー波長 | 355nm | 355nm |
| 公称レーザー出力 | > 2W | >1W |
| ビーム径 | 10～15μm | 4～5μm |
| スキャン速度 | 0 ～ 6000 mm/s、連続調整可能 | 0 ～ 6000 mm/s、連続調整可能 |
| XYテーブル移動量 | 200*300mm | 200*300mm |
| XYテーブル繰り返し位置決め精度 | ±1μm | ±1μm |
