Plonos plėvelės atsparumo reguliavimo mašina – J3335D
Aprašymas ir įvadas
TS3335D-I serijos daugiafunkcinė lazerinio kirpimo mašina tinka įvairioms plonasluoksnėms grandinėms, tokioms kaip inerciniai giroskopai, didelio tikslumo rezistoriai, analoginiai IC, ir tikslus plonasluoksnių jutiklių apipjaustymas lazeriu.
TS3335D-II serijos plokštelinio lygio lazerinio kirpimo mašina tinka puslaidininkinių plokštelių ir įvairių didelio tikslumo MEMS įrenginių apipjaustymui.
Produktų nuotraukos
Įrangos ypatybės
1:Apipjaustymui naudojamas didžiausio impulso ultravioletinis lazeris, kurio bangos ilgis yra 355 nm.
2:Nepertraukiama ir valdoma didelio stabilumo lazerio galia.
3:Pasiekiamas tikslus padėties valdymas naudojant vaizdo vaizdo automatinio padėties nustatymo technologiją.
4:Turtingas kirpimo ir pjovimo trajektorijų apibrėžimas.
5:Gali automatiškai bendrauti su išoriniais įrenginiais per įvairias ryšio sąsajas, tokias kaip tinklas,
GPIB ir nuoseklusis prievadas automatiniam apipjaustymui.
6:Naudojamas didelio tikslumo XY darbo stalas, skirtas laipsniškai pasikartojančiam automatiniam kelių ruošinių apipjaustymui.
7:Integruota matavimo ir valdymo arba išorinė išplečiama matavimo sistema.
8:Sąsajos su įvairiomis automatizavimo platformomis per gausų 10 sąsajų rinkinį.
Specifikacijos
| Konfigūracijos | ||
| Modelis | TS3335D – I | TS3335D - II |
| Lazerio bangos ilgis | 355 nm | 355 nm |
| Nominali lazerio galia | > 2 W | > 1 W |
| Sijos skersmuo | 10 - 15 μm | 4 - 5 μm |
| Nuskaitymo greitis | 0 - 6000 mm/s, nuolat reguliuojamas | 0 - 6000 mm/s, nuolat reguliuojamas |
| XY stalo kelionės | 200*300 mm | 200*300 mm |
| XY lentelės kartojimo padėties nustatymo tikslumas | ± 1 μm | ± 1 μm |
