Plānās plēves pretestības regulēšanas iekārta – J3335D
Apraksts un ievads
TS3335D-I sērijas daudzfunkcionālā lāzera apgriešanas iekārta ir piemērota dažādu plānslāņa ķēžu noregulēšanai, piemēram, inerciālo žiroskopu, augstas precizitātes rezistoru, analogo IC un plānas kārtiņas sensoru precīzai lāzera apgriešanai.
TS3335D-II sērijas vafeļu līmeņa lāzera apgriešanas mašīna ir piemērota pusvadītāju vafeļu un dažādu augstas precizitātes MEMS ierīču apgriešanai.
Produktu attēli
Aprīkojuma īpašības
1:Apgriešanai izmanto maksimālā impulsa ultravioleto lāzeru ar viļņa garumu 355 nm.
2:Nepārtraukta un vadāma augstas stabilitātes lāzera jauda.
3:Panāk precīzu pozīcijas kontroli, izmantojot video attēla automātiskās pozicionēšanas tehnoloģiju.
4:Bagātīga apgriešanas un griešanas trajektoriju definīcija.
5:Var automātiski sazināties ar ārējām ierīcēm, izmantojot dažādas komunikācijas saskarnes, piemēram, tīklu,
GPIB un seriālais ports automātiskai apgriešanai.
6:Izmanto augstas precizitātes XY darba galdu, lai pakāpeniski atkārtotu automātisku vairāku sagatavju apgriešanu.
7:Integrēta mērīšanas un vadības sistēma vai ārēja paplašināma mērīšanas sistēma.
8:Saskarnes ar dažādām automatizācijas platformām, izmantojot bagātīgu 10 saskarņu komplektu.
Specifikācijas
| Konfigurācijas | ||
| Modelis | TS3335D — I | TS3335D - II |
| Lāzera viļņa garums | 355 nm | 355 nm |
| Nominālā lāzera jauda | > 2 W | > 1 W |
| Sijas diametrs | 10 - 15 μm | 4 - 5 μm |
| Skenēšanas ātrums | 0 - 6000 mm/s, nepārtraukti regulējams | 0 - 6000 mm/s, nepārtraukti regulējams |
| XY Galda ceļojumi | 200*300 mm | 200*300 mm |
| XY tabula Atkārtota pozicionēšanas precizitāte | ± 1 μm | ± 1 μm |
