Machine voor het aanpassen van de dunne-filmweerstand – J3335D
Beschrijving & Introductie
De multifunctionele lasertrimmachine uit de TS3335D-I-serie is geschikt voor het afstemmen van verschillende dunnefilmcircuits, zoals traagheidsgyroscopen, zeer nauwkeurige weerstanden, analoge IC's en het nauwkeurig lasertrimmen van dunnefilmsensoren.
De TS3335D-II-serie lasertrimmachine op waferniveau is geschikt voor het trimmen van halfgeleiderwafels en diverse uiterst nauwkeurige MEMS-apparaten.
Productfoto's
Uitrustingseigenschappen
1:Maakt gebruik van piekpuls-ultraviolette laser met een golflengte van 355 nm voor trimmen.
2:Continu en regelbaar laservermogen met hoge stabiliteit.
3:Zorgt voor nauwkeurige positiecontrole via automatische positioneringstechnologie voor videobeelden.
4:Rijke definitie van trim- en snijtrajecten.
5:Kan automatisch communiceren met externe apparaten via verschillende communicatie-interfaces zoals netwerk,
GPIB en seriële poort voor automatisch trimmen.
6:Maakt gebruik van uiterst nauwkeurige XY-werktafel voor stapsgewijs, herhaald automatisch trimmen van meerdere werkstukken.
7:Geïntegreerd meet- en regelsysteem aan boord of extern uitbreidbaar meetsysteem.
8:Interfaces met verschillende automatiseringsplatforms via een rijke set van 10 interfaces.
Specificaties
| Configuraties | ||
| Model | TS3335D-I | TS3335D-II |
| Lasergolflengte | 355 nm | 355 nm |
| Nominaal laservermogen | > 2 W | > 1 W |
| Balkdiameter | 10 - 15 μm | 4 - 5 µm |
| Scansnelheid | 0 - 6000 mm/s, traploos instelbaar | 0 - 6000 mm/s, traploos instelbaar |
| XY-tafelreizen | 200*300 mm | 200*300 mm |
| XY-tafelherhalingspositioneringsnauwkeurigheid | ± 1 μm | ± 1 μm |
