Maskin for justering av tynnfilmmotstand – J3335D
Beskrivelse og introduksjon
Den multifunksjonelle lasertrimmingmaskinen i TS3335D-I-serien er egnet for tuning av forskjellige tynnfilmkretser, som treghetsgyroskoper, høypresisjonsmotstander, analoge ICer og presisjonslasertrimning av tynnfilmsensorer.
TS3335D-II-serien lasertrimmemaskin på wafernivå er egnet for trimming av halvlederskiver og forskjellige høypresisjons MEMS-enheter.
Produktbilder
Utstyrsfunksjoner
1:Bruker topppuls ultrafiolett laser med en bølgelengde på 355nm for trimming.
2:Kontinuerlig og kontrollerbar høystabil laserkraft.
3:Oppnår presis posisjonskontroll gjennom automatisk posisjoneringsteknologi for videobilder.
4:Rik definisjon av trimming og kuttebaner.
5:Kan kommunisere med eksterne enheter automatisk gjennom ulike kommunikasjonsgrensesnitt som nettverk,
GPIB, og seriell port for automatisk trimming.
6:Bruker XY arbeidsbord med høy presisjon for trinnvis repeterende automatisk trimming av flere arbeidsstykker.
7:Integrert måling og kontroll ombord eller eksternt utvidbart målesystem.
8:Grensesnitt med ulike automatiseringsplattformer gjennom et rikt sett med 10 grensesnitt.
Spesifikasjoner
| Konfigurasjoner | ||
| Modell | TS3335D - I | TS3335D - II |
| Laserbølgelengde | 355 nm | 355 nm |
| Nominell lasereffekt | > 2 W | > 1 W |
| Strålediameter | 10 - 15 μm | 4 - 5 μm |
| Skannehastighet | 0 - 6000 mm/s, trinnløst justerbar | 0 - 6000 mm/s, trinnløst justerbar |
| XY Bordreise | 200*300 mm | 200*300 mm |
| XY-tabell Gjenta posisjoneringsnøyaktighet | ± 1 μm | ± 1 μm |
