තුනී පටල ප්රතිරෝධක ගැලපුම් යන්ත්රය - J3335D
විස්තරය සහ හැඳින්වීම
TS3335D-I ශ්රේණියේ බහුකාර්ය ලේසර් කප්පාදු යන්ත්රය විවිධ තුනී පටල පරිපථ සුසර කිරීම සඳහා සුදුසු වේ, එනම් අවස්ථිති ගයිරොස්කෝප්, අධි-නිරවද්ය ප්රතිරෝධක, ප්රතිසම IC සහ තුනී පටල සංවේදකවල නිරවද්ය ලේසර් කැපීම.
TS3335D-II ශ්රේණියේ වේෆර් මට්ටමේ ලේසර් කැපීමේ යන්ත්රය අර්ධ සන්නායක වේෆර් සහ විවිධ ඉහළ නිරවද්ය MEMS උපාංග කැපීම සඳහා සුදුසු වේ.
නිෂ්පාදන පින්තූර
උපකරණ විශේෂාංග
1:කැපීම සඳහා 355nm තරංග ආයාමයක් සහිත උපරිම ස්පන්දන පාරජම්බුල ලේසර් භාවිතා කරයි.
2:අඛණ්ඩ සහ පාලනය කළ හැකි අධි-ස්ථායී ලේසර් බලය.
3:වීඩියෝ රූප ස්වයංක්රීය ස්ථානගත කිරීමේ තාක්ෂණය හරහා නිශ්චිත ස්ථාන පාලනයක් ලබා ගනී.
4:ට්රැමිං සහ කැපුම් ට්රැක්ටරි පිළිබඳ පොහොසත් අර්ථ දැක්වීම.
5:ජාල වැනි විවිධ සන්නිවේදන අතුරුමුහුණත් හරහා ස්වයංක්රීයව බාහිර උපාංග සමඟ සන්නිවේදනය කළ හැක,
GPIB, සහ ස්වයංක්රීය කප්පාදුව සඳහා අනුක්රමික වරාය.
6:බහු වැඩ කොටස්වල පියවරෙන් පියවර පුනරාවර්තන ස්වයංක්රීය කප්පාදුව සඳහා ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් XY වැඩ වගුව භාවිතා කරයි.
7:ඔන්බෝඩ් ඒකාබද්ධ මිනුම් සහ පාලනය හෝ බාහිර පුළුල් කළ හැකි මිනුම් පද්ධතිය.
8:අතුරුමුහුණත් 10 ක පොහොසත් කට්ටලයක් හරහා විවිධ ස්වයංක්රීය වේදිකා සමඟ අතුරුමුහුණත්.
පිරිවිතර
සැකසුම් | ||
ආකෘතිය | TS3335D - අයි | TS3335D - II |
ලේසර් තරංග ආයාමය | 355 nm | 355 nm |
නාමික ලේසර් බලය | > 2 W | > 1 W |
කදම්භ විෂ්කම්භය | 10 - 15 μm | 4 - 5 μm |
ස්කෑන් කිරීමේ වේගය | 0 - 6000 mm/s, අඛණ්ඩව වෙනස් කළ හැකිය | 0 - 6000 mm/s, අඛණ්ඩව වෙනස් කළ හැකිය |
XY Table Travel | 200 * 300 මි.මී | 200 * 300 මි.මී |
XY වගුව නැවත නැවත ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්යතාවය | ± 1 μm | ± 1 μm |