Maskin för justering av tunnfilmsmotstånd – J3335D
Beskrivning & Introduktion
Den multifunktionella lasertrimningsmaskinen i TS3335D-I-serien är lämplig för inställning av olika tunnfilmskretsar, såsom tröghetsgyroskop, högprecisionsmotstånd, analoga IC:er och precisionslasertrimning av tunnfilmssensorer.
TS3335D-II-serien lasertrimningsmaskin på wafernivå är lämplig för trimning av halvledarwafers och olika MEMS-enheter med hög precision.
Produktbilder
Utrustningsfunktioner
1:Använder topppuls ultraviolett laser med en våglängd på 355nm för trimning.
2:Kontinuerlig och kontrollerbar högstabil laserkraft.
3:Uppnår exakt positionskontroll genom videobilds automatisk positioneringsteknik.
4:Rik definition av trimnings- och skärbanor.
5:Kan kommunicera med externa enheter automatiskt genom olika kommunikationsgränssnitt såsom nätverk,
GPIB och seriell port för automatisk trimning.
6:Använder högprecisions XY-arbetsbord för stegvis repetitiv automatisk trimning av flera arbetsstycken.
7:Inbyggd integrerad mätning och kontroll eller externt utbyggbart mätsystem.
8:Gränssnitt med olika automationsplattformar genom en rik uppsättning av 10 gränssnitt.
Specifikationer
| Konfigurationer | ||
| Modell | TS3335D - I | TS3335D - II |
| Laser våglängd | 355 nm | 355 nm |
| Nominell lasereffekt | > 2 W | > 1 W |
| Stråldiameter | 10 - 15 μm | 4 - 5 μm |
| Skanningshastighet | 0 - 6000 mm/s, steglöst justerbar | 0 - 6000 mm/s, steglöst justerbar |
| XY Bordsresor | 200*300 mm | 200*300 mm |
| XY Tabell Upprepa positioneringsnoggrannhet | ± 1 μm | ± 1 μm |
